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Y-TON 高純度高壓氣瓶
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Y-TON 高純度高壓氣瓶

1.Y-TON氣瓶專為半導體工廠及其他對氣體質量有要求的制造廠設計,提供高純氣體運輸儲存方案。

2.提供多種符合國際規范的產品,涵DOT3AA/DOT3AAX、ISO、KGS等認證。

3.氣瓶內部粗糙度可達到1S,采用加熱抽真空工藝,可將水分含量降至0.5ppmv。
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詳情
參數

產品規格

充裝介質

氣瓶數量
(EA)

水容積
(L)

使用壓力
(bar)

氣瓶重量

(kg)

空箱質量

(kg)

Y-TON 440L

SiH4, NF3, N20, SF6, CO2,

CF4, NH3, HCl, CHF3, C2F6,

NH3, Cl2, C4F6, C4F8, PH3+H2, SiH2Cl2,  COF2,  BCl3

1

440

166

556

706

Y-TON 470L

1

470

166

565

715

 

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3. 適用于SiH4、NF3、N2O、CF4、PH3+H2、 HCl、SF6等多種高純氣體,滿足不同運輸需求。

4. 氣瓶內部粗糙度可達到1S,采用加熱抽真空工藝,可將水分含量降至0.5ppmv。
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3.氣瓶內部粗糙度可達到1S,采用加熱抽真空工藝,可將水分含量降至0.5ppmv。
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